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精密多軸直線電機(jī)平臺
HC-XY二維直線平移臺
所屬類別：精密多軸直線電機(jī)平臺
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詳細(xì)內(nèi)容
產(chǎn)品介紹：
直線電機(jī)平臺優(yōu)異的高速、高精度正逐漸成為工業(yè)自動化、高精密加工、高精度測量方面越來越多用戶的首選，高精度交叉滾柱導(dǎo)軌首先賦予了平臺遠(yuǎn)超直線循環(huán)滾子類導(dǎo)軌更為優(yōu)秀的直線度、
平面度以及負(fù)載能力，同時(shí)高分辨率的光柵全閉環(huán)反饋以及一體式的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，讓平臺擁有非?？煽康姆€(wěn)定性。
技術(shù)指標(biāo)：
型號
HCXY-50XY
HCXY-100XY
HCXY-150XY
HCXY-200XY
外形
150*150*80mm
205*205*80mm
280*280*80mm
350*350*80mm
行程（mm）
50mmX50mm
100mmX100mm
150mmX150mm
100mmX100mm
重復(fù)定位精度
≤±200nm
≤±200nm
≤±200nm
≤±200nm
決對定位精度
≤±200nm
≤±200nm
≤±200nm
≤±200nm
分辨率
(5um 1um 0.5um o.1um 10nm 5nm等)可選
直線度
4um
4um
6um
8um
平面度(um)
4um
4um
6um
8um
上下偏擺
10arcsec
12arcsec
12arcsec
15arcsec
左右偏擺
5arcsec
6arcsec
6arcsec
8arcsec
正交性
5arcsec
5arcsec
5arcsec
5arcsec
最大推力
88N
88N
132N
289N
持續(xù)推力
17.6N
17.6N
26.4N
58N
最大速度
500mm/s
500mm/s
500mm/s
500mm/s
最大加速度
6G(X)3.2G(y)
2.6G(X)1.2G(y)
2.5G(X)1G(y)
2.3G(X)0.9G(y)
水平最大負(fù)載
10kg
15kg
20kg
25kg
運(yùn)動部分質(zhì)量
1.4kg(X)2.8kg(Y)
3.4kg(X)7.2kg(Y)
5.2kg(X)13kg(Y)
12.4kg(X)30kg(Y)
材質(zhì)
鋁合金
鋁合金
鋁合金
鋁合金
自重
9.5kg
9.5kg
9.5kg
9.5kg
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